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真空爐主要靠輻射傳熱，此外還有傳導傳熱。如果在低溫階段還有可能運用的對流加熱，可控氣氛的熱處理，真空熱處理，離子氮化熱處理。

空爐冷卻體系是真空爐的重要部分。冷卻水路應堅持暢透，否則水溫升高形成停機

真空爐的爐體由爐外殼、內爐膛、下爐蓋、壓頭密封件組成。其主要功能是裝有玻璃纖維絲模具在內爐膛中加熱到能夠熔壓成型的溫度，并在高真空環境中熔壓成型

真空爐是在真空狀態下進行加熱的設備，能夠對很多工件進行熱外理。主要用干陶瓷燒成，真空冶煉，電真空零件除氣，退火，金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。

真空爐體系首要由真空體系、加熱體系、加壓體系及操控體系組成。

真空爐，是在爐腔這一特定空間內利用真空體系(由真空泵、真空測量設備、真空閥門等元件經過精心拼裝而成)將爐腔內部分物質排出，使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內空間然后完成真空狀態，這便是真空爐。

真空爐廣泛應用于硬質合金、陶瓷、粉末冶金資料在低真空、還原性、保護性氣氛下的熱處理;真空爐也能夠用干高速鋼、合金模具、軟磁合金等資料的淬火、退火以及釬焊等多種在真空下需熱處理的工藝。