真空爐主要靠輻射傳熱，此外還有傳導傳熱。如果在低溫階段還有可能運用的對流加熱，可控氣氛的熱處理，真空熱處理，離子氮化熱處理。
其中真空熱處理技術的應用和發展得到了進一步的改善和普及。具有不氧化，不脫碳，淬火后表面光潔，耐磨性高，無污染，自動化程度高的特點。 真空退火，真空脫氣，真空油淬，真空水淬，真空氣體淬火，真空回火和真空滲碳廣泛用于工業生產中。真空熱處理是熱處理車間中很受歡迎的技術之一。
真空燒結爐的熱處理工藝包含加熱、保溫、冷卻三個進程。但有時只要加熱與冷卻兩個進程。這些進程都是相互聯接，不行間斷。選擇和操控加熱溫度是確保速凝爐熱處理質量的主要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和熱處理的意圖不同而異。此外，真空燒結爐是使用真空感應熔煉法，把坩堝關閉在真空室中，使用電磁感應發生的渦流作為熱真空燒結爐用處磁性材料的熔煉及快速冷凝。也是生產合金的專用設備，是先進鑄片工藝替代傳動鑄錠工藝的抱負替代設備。