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真空回火爐適用于高速鋼、模具鋼、工具鋼、合金鋼、鈦合金等材料淬火后亮光回火。軟磁材料、 硅鋼片、電工純鐵、銅合金等材料的亮光退火。消除鍛件、焊接件、冷沖壓件、工件淬火后剩下 內應力，避免工件變形開裂。
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能耗顯著低于鹽浴爐。現代先進的真空爐石墨加熱棒加熱室選用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果顯著。
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將丈量熱電偶及控溫熱電偶按GB/J351—1996《中華人民共和國國家計量判定規程》中相關規定進行檢測，檢測合格方能進行爐溫均勻性測定。自爐體拆下測溫孔的蓋板，將9根通過檢測合格的熱電偶順次穿上密封墊圈、橡膠墊圈，自法蘭孔中引入爐腔內，并順次按圖1方位固定在坐落爐門口支撐架上，支撐架的尺度為有用加熱尺度。將支撐架當心地移入爐腔內，放在爐床上，調整其方位，使之恰好與有用加熱空間重合。固定測溫法蘭的熱電偶孔，順次放入密封墊圈，橡膠墊圈上涂布真空脂，旋緊壓緊螺栓，安裝好法蘭。
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合金電熱資料:主要是指鐵鉻鋁合金與鎳鉻合金兩種。它們的一起特點是:電阻系數較大，電阻溫度系數較小，耐熱性好，因而，在加熱過程中作業安穩。但在真空下，因為鉻元素的蒸氣壓高，簡單蒸發，所以運用范圍受到必定的約束。一般只能用在中、低溫文中、低真空熱處理爐或外熱式真空熱處理爐上。
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熱壁真空釬焊爐常用的工藝辦法較多，主要是按使用的設備和作業原理區別的。如按熱源區別則有紅外、電子束、激光、等離子、輝光放電釬焊等；按作業進程分有接觸反響釬焊和分散釬焊等。接觸反響釬焊是利用釬料與母材反響生成液相填充接頭空隙。分散釬焊是添加保溫分散時刻，使焊縫與母材充沛均勻化，然后獲得與母材性能相同的接頭。
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熱壁真空釬焊爐用比母材熔點低的金屬資料作為釬料，用液態釬料潮濕母材和填充工件接口空隙并使其與母材相互擴散的焊接方法。適合于焊接精細、復雜和由不同資料組成的構件。
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真空爐按真空度分低真空(1×10-1 Pa)、高真空(1×10-2~1×10-4 Pa)、超高真空(1×10-4 Pa~);按工作溫度分低溫爐(~650℃)、中溫爐(650℃~1 000℃)、高溫爐(1 000℃及以上);依照加熱方式分為外熱式真空爐和內熱式真空爐。
