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真空爐一般由主機、爐膛、電熱設備、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。為防止爐殼受熱后變形和密封材料受熱變質，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內。依據爐子用處,爐膛內部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內裝有坩堝，有的還裝有自動澆注設備和裝卸料的機械手等。真空體系主要由真空泵、真空閥門和真空計等組成。
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真空淬火（回火、退火）就是經過把資料或零件在真空狀態下按工藝規程加熱、冷卻來到達預期性能的一種處理方法。
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真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛頂用管道與高真空泵系統聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)Pa。爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。最高溫度可達3000℃左右。首要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
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真空爐石墨導電桿是一種以石墨為主要原料制成的導電資料，具有高導電率、低電阻、耐高溫、耐腐蝕等優點。石墨導電桿可以用于各種電熱設備、電解槽、電鍍設備等需要高導電功能的場合。
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真空爐石墨銜接片是一種廣泛應用于高溫、高壓、腐蝕等惡劣環境中的銜接元件，其作業原理首要根據石墨的優異功能。石墨是一種由純碳組成的礦物，具有極高的耐腐蝕性、杰出的導熱性和導電性，以及較低的熱膨脹系數等特色。這些特色使得石墨銜接片在各種極端環境下都能保持穩定的功能。
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真空燒結爐是指在真空環境中對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，其加熱辦法比較多，如電阻加熱、感應加熱、微波加熱等。真空燒結爐是運用感應加熱對被加熱物品進行保護性燒結的爐子，可分為工頻、中頻、高頻等類型，可以歸屬于真空燒結爐的子類。
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針對某些特別金屬粉末生產進程中,在真空爐進氣速度操控方面存在的問題,應用可編程邏輯操控器LOGO!和智能調理儀UP550,對真空爐進氣速度操控體系進行了自動化改造。選用操控手動微調閥兩端壓差的辦法,保持進氣流量基本穩定;選用誤差操控的方法使真空爐內壓力按給定斜率在必定的誤差范圍內勻速上升,完成了真空爐進氣速度自動操控,取得了良好的效果。
