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真空爐中的石墨件，特別是石墨橫梁，其光潔度是抉擇其功用和壽數的關鍵要素。

石墨配件的表面光潔度要求很高，具體數值會因應用場景和工藝要求而有所不同。一般來說，石墨制品的表面光潔度抵達Ra0.1um左右是比較高的要求。

石墨真空爐配件品種豐富，根據功用可分為加熱元件、結構支撐件、導電聯接件、隔熱組件及功用配件五大類。

石墨真空爐配件品種豐富，根據功用可分為加熱元件、結構支撐件、導電聯接件、隔熱組件及功用配件五大類。

除了上述的石墨加熱器外，真空爐中還可能運用到不同形狀的石墨加熱元件

真空爐石墨件不小心折斷了是無法修改的，只能更換新的石墨件。因為石墨是歸于非金屬資料，無法像金屬那樣焊接。

真空爐石墨件，尤其是石墨橫梁，其運用壽數并不是簡略地以“年”為單位來衡量的。它的壽數遭到多種要素的影響，包含管體質量、加熱功率、運用環境和溫度等。依據一些材料，真空爐石墨加熱棒（一種典型的石墨件）的運用壽數大約在5000到10000小時之間。