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真空爐石墨風(fēng)管的螺紋形狀和視點(diǎn)的操控關(guān)于保證風(fēng)管的聯(lián)接穩(wěn)定性和密封功用至關(guān)重要。

單晶硅 / 碳化硅襯底的高溫退火爐、離子注入機(jī)加熱系統(tǒng)，確保溫度穩(wěn)定性（±1℃），避免雜質(zhì)污染；

公差規(guī)劃的巨細(xì)直接影響到真空爐石墨配件的設(shè)備精度。假定公差過(guò)大，可能會(huì)導(dǎo)致配件之間的空位過(guò)大，影響設(shè)備的整體功用和穩(wěn)定性。

真空爐石墨電極頭的加工技術(shù)觸及質(zhì)料挑選與預(yù)備、成型與粗加工、精加工與后處理、特別工藝處理以及質(zhì)量檢測(cè)與包裝等多個(gè)環(huán)節(jié)。

石墨電極：石墨電極的規(guī)范公差一般為02mm單邊，規(guī)范料公差為01mm單邊內(nèi)為合格。這一公差規(guī)劃保證了石墨電極在安裝和使用過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。

真空爐石墨螺母一般選用粗牙螺紋，這種螺紋形狀可以更好地習(xí)氣石墨材猜中的孔隙、雜質(zhì)、晶粒等缺點(diǎn)，保證真空爐石墨螺母與石墨加熱元件之間的緊密聯(lián)接。

真空爐石墨橫梁的主體結(jié)構(gòu)一般由高純度、高密度的石墨材料制成