石墨材料作為真空熱處理爐加熱元件在較低溫度使用時，其蒸騰丟失很小，損壞多因為材料功能、應力損壞、氧化速度、機械電氣毛病引起的損壞。石墨材料的材質對加熱元件有較大影響，假如挑選顆粒過粗，材質不均勻的石墨材料做加熱元件，部分缺陷會導致部分電阻過大，發生部分過熱，導致使用壽命下降，甚至會燒斷加熱器；石墨加熱器作業時發生的熱應力會對其發生損壞。石墨在低溫時導熱功能杰出，在高溫時就下降為低溫時的幾分之一，形成真空熱處理爐加熱元件外表和心部的溫度差，使斷面伸長紛歧，發生熱應力，損壞加熱元件；石墨加熱器的氧化生成物容易散逸，不會形成致密氧化膜保護層，然后使氧化接連進行，假如爐內密封不好或惰性氣體純度不行會加劇真空熱處理爐加熱元件的氧化；爐內工件材料蒸發凝聚使石墨加熱元件與絕緣件連電短路也會損壞真空熱處理爐加熱元件；當石墨加熱元件與其它金屬零件相互連接時，因為線膨脹系數不同大形成應力，使石墨件受揉捏或拉伸，加快石墨加熱元件開裂；此外石墨件加工、裝置質量對真空熱處理爐加熱元件的使用壽命也有十分顯著的影響，石墨件觸摸面潤滑程度不行會使觸摸電阻過大，燒壞真空熱處理爐加熱元件，裝置時過松會出現因為觸摸不良而發生的拉弧，然后燒壞加熱器和接頭，過緊則會因為石墨材料的塑性差而使其受力損壞。