真空熱處理爐存在的優點：
1、嚴格的真空密封：總所周知，金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內進行，因此，獲得何維持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的工作真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。所以真空熱處理爐的一個關鍵問題，就是要有可靠的真空密封結構。為了保證真空爐的真空性能，在真空熱處理爐結構設計中心必須遵循一個基本原則就是爐體要采用氣密焊接，同時在爐體上盡量少開或者不開孔，少采用或者避免采用密封結構，以盡量減少真空泄露的機會。安裝在真空爐體上的部件，附件等如水冷電極、熱電偶導出裝置也都必須設計密封結構。
2、大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下使用；真空熱處理爐的加熱與隔熱材料是在真空與高溫下工作的，因而對這些材料提出了耐高溫，蒸氣壓低，輻射效果好，導熱系數小等要求。對抗氧化性能要求不高。所以真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作為加熱與隔熱材料。這些材料在大氣狀態下極易氧化，因此，常規熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。
3、水冷裝置，真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件導別處置（水冷電極），真空真空隔熱門等部件，均在真空，受熱狀態下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結構不變形，不損壞，真空密封圈不過熱，不燒毀。因此，各部件應該根據不同的情況設置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的使用壽命。
4、采用低電壓電流；在真空容器內，當真空度為幾托-1*10-1托的范圍內時，真空容器內的通電導體在較高電壓下會產生放點現象。在真空熱處理爐內，嚴重的會產生弧光放電，燒毀電熱元件，隔熱層等，造成重大事故和損失。因為，真空熱處理爐的電熱原件的工作電壓，一般都不超過80-100伏。同時在電熱元件結構設計時要采取有效措施，如盡量避免有尖銳的部件，電極間的間距不能太小窄，以防止輝光放電或者弧光放電的發生。
5、自動化程度高：真空熱處理爐的自動化程度之所有較高。是因為金屬工作的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成這些動作內在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。同時，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須六個動作并且要在15秒鐘以內完成。再這樣迅速的條件來完成許多動作，是很容易造成操作人員的緊張而構成誤操作。因此，只有較高的自動化才能準確、及時按程序協調動。