真空爐即真空熱處理爐，真空爐般由主機、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空體系、供電體系、控溫體系和爐外運輸車等組成。
一、真空爐的裝置
1、參照圖紙供給的真空爐平面布置、裝置位置和土建條件，選好設備裝置地址并進行土建施工。裝置地址應無煙塵污染，環境清潔，空氣枯燥，不該與其他設備等放在起，堅持室溫10-35℃，地上平整光亮。
2、裝置石墨電熱元件和水冷電時，
a.拿石墨元件時要為當心，以防損壞；
b.要牢靠地擰緊螺栓，以到達良好的電接觸，不要用力太大，避免螺紋斷扣。
3、按真空體系圖將真空體系定位，拼裝并與爐體連接。裝置時把O型密封圈涂上層薄薄的真空油脂，均勻地擰緊法蘭。
4、按水冷體系圖，將進水管與排水管分別接到爐子的進、排水口上，供給壓力為0.1-0.15MPa，溫度不低于15℃，不高于30℃的水源，好供給循環水、防銹水。
5、供給壓力小為0.5MPa的氣動氣源，可用工業氮氣，如用壓縮空氣，則自備氣動“三大件”（如油霧氣、減壓器、分水濾氣器）。
6、按回充氣體體系圖將管路接至回充管路上，并主張供給純度為99.99%—99.999%的高純度氮氣作為回充氣體。
7、按電氣接線圖把電源接到相應的電接點上，校核電源電壓，連接控制箱，動力箱和爐體間的電線電纜。
8、裝置其余零部件，包含導管、丈量儀器儀表等。
9、爐體和控制箱均接地，接地電阻≤4歐，儀表和真空計的規管電纜也應接地。
二、真空爐調試
1、冷爐調試
A、機械、氣壓、電氣聯動調試，調整工件傳送搬運時刻≤25S，整個聯動在裝載200Kg的情況下，接連動作三次應和諧平穩，精確牢靠。
a.真空隔熱門開啟或關閉行程時刻調至≤8S。
b.工件車行進至加熱室行程時刻調至12—15S。
c.工件車上升或下降行程時刻調至≤3S。
d.工件車后退至冷卻室行程時刻調至12—15S。
e.裝載200Kg進行聯動實驗，總行程時刻為≤25S接連動作應和諧平穩，精確牢靠。
B、氣冷風扇調試，轉速約1400r/min,滾動靈活，無異常現象。
C、報警體系調試，應精確無誤，安牢靠。
D、丈量緣電阻大于等于20千歐。
E、丈量爐子冷態真空度，壓升率挨近0.5Pa/h（可結合在熱調試中進行）。
2、真空爐熱調試
A、在爐子真空度不低于13.3Pa的情況下通電烘爐，在爐溫緩慢升至1300℃的整個過程中，爐子真空度不該低于13.3Pa，經過充沛烘烤，除氣后，壓升率到達技術要求時即可。
B、限真空度丈量：不低于6×1.0-4Pa。
C、工作真空度丈量：不低于2.7Pa（在1000空爐時）。
D、壓升率丈量：在真空爐加熱至1200℃時，經過充沛烘烤除氣后，爐溫冷卻至100℃以下時再測壓升率，應到達0.5Pa/h。
E、回充氣體調試：當冷卻室真空度為1.33Pa時，關閉真空隔熱門、冷卻室真空閥，并當即向冷卻室爐充入氮氣0.06MPa時，時刻應在2.5（秒）完成，而且加熱室的真空度不得低于670Pa。