真空熱處理是真空技術與熱處理相結合的歸納技術，是指熱處理過程的全部和部分都是在真空狀況下進行的。我國真空分為低真空、中真空、高真空和超高真空。
真空爐和中頻電爐在熱加工范疇具有良好的發展前景。用于透熱、軋制、鍛造、彎曲、熱處理（淬火）、焊接等過程的感應加熱。那么真空爐和中頻電爐的熱處理工藝是什么呢？上海真空爐廠家匯眾電爐簡單論述，如下：
1.鈦合金在真空爐中處理時，由于鈦和氮在高溫下反應生成金鈦氮化物，不能用氮氣作為冷卻氣體。
2.真空爐的活動連接部分全部用O形圈密封，并用水冷卻。
3.工件真空淬火時，應運用飽滿蒸汽壓低的真空淬火油。
4.真空爐的保護應處于真空或純氮氣充注狀況，防止不運用時的空氣吸收和吸濕。
5.國內真空爐升壓率不大于1.33pa/h，國外部分企業升壓率為0.67pa/h
6.真空加熱主要以輻射加熱為主，爐內工件之間應堅持一定距離。
7.在加熱過程中，工件和爐料將被放氣以降低真空度。
8.真空回火、真空退火、真空固溶處理和真空時效的加熱溫度一般與常規處理相同。
9.真空回火爐應設有快速冷卻設備。冷卻水壓力大于0.2MPa，流量可調。
10.冷卻氣體：一般鋼用99.995%純氮，高溫合金用99.999%氮或氬，鈦合金用99.995%氬。
11.升溫：工件放入后，經預抽至6.67pa方可加熱。