在真空熱處理設備這個類別傍邊，真空淬火爐是運用較為廣泛和具有代表性的典型設備，它具有以下一些特征：
1嚴厲的真空密封眾所周知，真空熱處理時工件進行加熱及淬火都在密閉的真空爐內進行，因而確保真空淬火爐的作業真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的含義。為了確保真空爐的真空性能，爐體有必要選用氣密焊接，上面開孔很少，以盡量削減真空走漏的時機。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出設備也都是密封結構。
2大部分加熱與隔熱資料只能在真空狀態下運用真空淬火爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，這些資料具有耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等特色。如國內現有真空淬火爐首要選用石墨作加熱與隔熱構料，它在大氣狀態下被加熱極易氧化，因而，慣例熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱資料。3水冷設備
3真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件（水冷電極）、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為不利的條件下作業，有必要確保各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不焚毀。因而，各部件依據不同的情況設置有水冷設備，以確保真空爐可以正常運轉并有滿足的運用壽命。
4對工件加熱選用低電壓大電流
在真空熱處理爐內，當真空度到幾百帕(Pa)時，通電導體在較高的電壓下，就會發生輝光放電現象，嚴峻的會發生弧光放電，焚毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和損失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業電壓，一般都不超越80-100伏。一起電熱元件盡量避免有頂級的部件，電極間的間距不能太窄等，以避免輝光放電或者弧光放電的發生。
5自動化程度高由于金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個乃至幾十個動作來完結。這些動作都在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。一起，有些動作如加熱保溫結束后，金屬工件進行淬火工序須多個動作而且要在較短時間內完結。在這樣敏捷的條件來完結許多動作，是很簡單形成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，大部分真空淬火爐選用了較高的自動化程序來進行控制
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