真空爐走漏檢測的過程是：
1、在開端任何檢測之前，都要保證氦走漏檢測儀經過標定(使用標準漏孔進行查看)且性能正常。向檢測儀外殼內部噴入少數氣體，以承認檢測儀自身沒有任何走漏。別的，也要查看走漏檢測儀與真空爐連接點的走漏狀況。
2、在球閥處于封閉的狀態下將走漏檢測儀連接到粗抽管路的端口上。
3、承認分散泵和粗抽泵的水路已經翻開。
4、啟動維持泵和粗抽泵。
5、在啟動分散泵前手動翻開前級管路，查看其走漏狀況。完結這項查看后要保證封閉前級管路閥。
6、漸漸翻開球閥，使氦走漏檢測儀與體系接通。
7、向前級管路和粗抽體系的一切焊縫、螺紋接口和法蘭噴吹少數氦氣，查看這些部位的走漏狀況。
8、對這項開始檢測發現的任何走漏進行修正。
9、假如發現并修正了任何走漏，則重復執行過程5)–7)并再次查看走漏狀況。
10、假如未發現新的走漏，就封閉走漏檢測儀球閥，啟動分散泵，將其預熱45分鐘。
11、開端正式檢測，將爐室抽真空到水平。
12、假如爐室達不到高真空度，稍微翻開通往走漏檢測儀的球閥，對爐室、增壓泵泵殼、架空管路和真空切換管路上的一切法蘭、螺紋接口和焊縫進行查看。對這一步發現的任何走漏進行修正。
13、現在以較大流量噴吹氦氣，對整個體系進行仔細查看。
14、假如未發現新的走漏，就封閉通往走漏檢測儀的球閥，將檢測儀與體系脫開。
15、現在，真空爐應當得到了全面查看，可以為恢復生產作好預備。
16、假如沒有發現外部氦氣走漏，但走漏率測驗結果依然顯現爐室的走漏率較高，還有其他幾種可能性：
1)氣體通過氣體回充閥或分壓閥(比如氮氣或氬氣)進入爐室。拆下這些閥，查看是否有塵埃、密封或膜片是否無缺。
2)從氣冷式換熱器向真空中漏水。將換熱器從真空爐上拆下，查看釬焊接合部位是否有水積累。用空氣對換熱器加壓到大約100磅/平方英寸表壓，在一切釬焊部位刷上肥皂水看是否發生氣泡。假如有必要，將換熱器浸入水槽中，查看是否有氣泡冒出。浸沒在水中后，換熱器在重新安裝到真空爐體系中之前必須在加熱爐內徹底烘干。這時，要在300?F下堅持4小時，以使任何剩余的水分徹底蒸騰。
17、假如一切這些措施均不收效，則應考慮水從爐室水套漏入真空的可能性。水也可能從其他水套漏入真空，比如增壓泵或換熱器水套。拆下高溫區的一切部件，查看是否有漏水發生的積水痕跡。假如沒有發現明顯的痕跡，用空氣對水套加壓到大約30磅/平方英寸表壓，在一切焊縫和接合部位刷上肥皂水看是否發生氣泡。有時，爐室中心會因出現裂紋甚至腐蝕而發生走漏。爐室存在的一切走漏都必須焊接修正和進行檢測，不能有任何氣泡發生。
18、從換熱器、真空室或其他水套漏入真空的水通常會使粗抽泵油變色(走漏嚴峻時變成乳白色，輕微時略有褪色)。假如漏水嚴峻，爐室將不能抽真空到1托以下。假如爐室或換熱器外殼的底部積累了游離水，它們會逐步凝結成冰。有時，看上去就像是爐室或換熱器箱體的空氣側結了霜。
請記住，氦走漏檢測儀的呼應時間僅僅反映了走漏的面積，準確的走漏位置必須通過進一步分析才能確認。同一個區域常常存在著一處以上的走漏。
假如使用氦走漏檢測儀未發現任何走漏，這并不意味著肯定沒有走漏。要記住，檢測手段是壓升率測驗。