1.電熱元件向工件傳熱的方法不同
真空爐的電熱元件是通過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相一起，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度不同才比較顯著。
2.電熱元件與爐內氣氛相互作用的條件不同
電熱元件在真空爐內的作業條件比其他狀態下要好，特別是比爐內為氧化氣氛的非真空爐要好得多。因此，電熱元件在真空狀態下敵對氧化性要求不高。非真空爐電加熱器中電熱元件作業時除了爐內氣氛與電熱元件產生化學反應外，某些電熱資料，特別是稀有金屬，在加熱時因吸收許多氣體而變脆、易損壞，但在真空狀態下這些金屬就能較長期而可靠地作業。
3.電熱元件資料的蒸發速度不同
電熱資料在真空爐內容易蒸發，因為隨著電熱元件溫度的升高，其蒸氣壓也隨之添加，故運用壽數降低。從這一點看，真空也給電熱元件帶來了晦氣影響。
關于低、中溫真空爐(運用溫度不高于1000℃)，一般選用鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金作電熱元件;關于高溫真空爐，特別是運用溫度大于1200℃的真空爐，所運用的電熱元件為鋁、鎢、鉭等純金屬以及石墨。非金屬電熱資料，如碳化硅在真空下其黏結劑會分解，硅化鋁在真空下超過1300℃時會軟化，因此真空爐很少選用這兩種電熱資料。
真空淬火爐停爐后，爐內需保持在66.5LPa以下的真空度。
爐內有塵土或不潔凈時，運用酒精或汽油浸濕過的綢布擦拭潔凈并使其單調。
爐體上的密封結構，真空體系等零部件拆裝時，運用酒精或汽油清洗潔凈并通過單調后，涂上真空油脂再組裝上。
真空淬火爐爐子外表面常常擦拭，照顧清潔潔凈。
零件及零件車需清洗單調后方可進入爐內，避免水分、污物進入爐內。
各傳動件發現卡位、限位禁絕，控制失靈等現象時，應立即排隊，不要強操作，避免損壞機件。
機械傳動件應守時加油或換油保養。
真空泵，閥門，丈量儀器，熱工表面，電氣元件等配套件，均按產品的技能闡明予以修補和保養。