真空爐熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個進程，有時只需加熱和冷卻兩個進程。這些進程彼此銜接，不行連續。
加熱是熱處理的重要工序之一。金屬熱處理的加熱辦法許多，最早是選用木炭和煤作為熱源，然后運用液體和氣體燃料。電的運用使加熱易于操控，且無環境污染。使用這些熱源可以直接加熱，也可以經過熔融的鹽或金屬，致使起浮粒子進行直接加熱。
金屬加熱時，工件暴露在空氣中，常常產生氧化、脫碳(即鋼鐵零件外表碳含量下降)，這關于熱處理后零件的外表功用有很倒運的影響。因而金屬通常應在可控氣氛或維護氣氛中、熔融鹽中和真空中加熱，也可用涂料或包裝辦法進行維護加熱。
高真空燒結爐加熱溫度是熱處理工藝的重要工藝參數之一，挑選和操控加熱溫度,是確保熱處理質量的首要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和熱處理的目的不同而異，但一般都是加熱到相變溫度以上，以取得高溫組織。別的改變需求必定的時刻，因而當金屬工件外表抵達要求的加熱溫度時，還須在此溫度堅持必定時刻，使表里溫度一同，使顯微組織改變徹底，這段時刻稱為保溫時刻。選用高能密度加熱和外表熱處理時，加熱速度極快，一般就沒有保溫時刻，而化學熱處理的保溫時刻往往較長。
冷卻也是熱處理工藝進程中不行缺少的過程，冷卻辦法因工藝不同而不同，首要是操控冷卻速度。一般退火的冷卻速度最慢，正火的冷卻速度較快，淬火的冷卻速度更快。但還因鋼種不同而有不同的要求，例如空硬鋼就可以用正火相同的冷卻速度進行淬硬。
金屬熱處理工藝大體可分為全體熱處理、外表熱處理和化學熱處理三大類。依據加熱介質、加熱溫度和冷卻辦法的不同，每一大類又可區分為若干不同的熱處理工藝。同一種金屬選用不同的熱處理工藝，可取得不同的組織，然后具有不同的功用。鋼鐵是工業上運用最廣的金屬，并且鋼鐵顯微組織也最為雜亂，因而鋼鐵熱處理工藝種類繁復。