真空爐，英文名:vacuum furnace即在爐腔這一特定空間內利用真空系統（由真空泵、真空測量設備、真空閥門等元件通過精心組裝而成）將爐腔內部分物質排出，使爐腔內壓強小于一個標準大氣壓，爐腔內空間從而實現真空狀態，這便是真空爐。是一類工業爐。對環境無污染，不需進行三廢處理，在靠近真空狀態下通過電熱元件加熱的工業爐。
真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛頂用管道與高真空泵系統聯接。爐膛真空度可達133×(10~10)Pa。爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。最高溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空鍛煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
長處
1)徹底消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無蛻變層的清潔表面。這關于那些在刃磨時僅磨一面的刀具(如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口)切削性能的改進聯系極大。
2)對環境無污染，不需進行三廢處理。
3)爐溫測定、監控精度明顯前進。熱電偶的指示值與爐溫溫度到達±1.5°c。但爐內大批工件不同部位的溫差較大，若選用淡漠氣體強制循環，仍可控制在±5°c溫差范圍內。
4)機電一體化程度高。在溫度測控精度前進的基礎上，工件移動、氣壓調度、功率調度等均可預先編程設定，按過程實施淬火和回火。
5)能耗明顯低于鹽浴爐。現代先進的真空爐加熱室選用優質隔熱材料制成的隔熱墻和屏障，可將電熱能量高度集中于加熱室內，節能效果明顯。