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關于真空爐的保養，是需要操作人員細心學習的一種常識，這樣才干更好的使用真空爐，也才干發揮真空熱處理爐的安穩功能，更好的處理工件。真空熱處理爐的保養工作簡單來說可分為兩個步驟。
1.緊鎖一切的真空閥門，啟動機械泵，待其運轉正常后，翻開通向爐體的低真空閥即上碟閥，預先對爐體抽低真空；
2.翻開下碟閥，對分散泵進行抽氣，當真空度到達15Pa以下后，系統主動敞開分散泵進行預熱，一般經過45min左右分散泵開始其效果，就能夠關閉上碟閥，同時敞開主阻擋閥待真空度到達一定值以上，才能夠敞開加熱按鈕對樣品進行加熱。
