真空爐加熱元件的結構方法直接影響真空熱處理爐的功率及運用壽命，選擇加熱體的結構方法也是真空熱處理爐規劃的關鍵問題之一。依據結構方法不同可分為片狀、板狀、帶狀、絲狀、鼠籠棒狀、網狀、棒狀等。
為了防止鎳鉻合金真空爐加熱元件在真空中放電，一般選用低電壓，一起不能用螺旋狀電熱絲結構，因為螺旋結構距離較小，容易產生放電和熱變形引起短路。高熔點金屬鉬、鉭、鎢以線、帶、板狀做加熱器，它的結構方法許多，但總的一般期望盡量削減與耐火資料、絕緣資料的觸摸，以免發生化學反應，降低加熱器的壽命。常用鎢絲制成鼠籠(三相或單相)狀發熱體，為了進步鎢絲的輻射面，充分發揮鎢絲資料的特性，可將單根鎢絲繞制成鎢絲網，再組成筒狀的加熱器，近年來，一些生產廠家研制出鎢絲筐發熱體，它具有耐高溫、抗變性、運用壽命長等長處。
石墨由于加工功能杰出，它可以制成板、管、棒、筒、布、帶等形狀，因此石墨加熱器的結構型式更是多種多樣的。關于用石墨管、棒、筒制成的加熱器大部分用石墨聯接塊聯接，在結構上應考慮安裝、維修方便，目前大部分選用研配的方法。對用石墨布或石墨帶制成的加熱器可以用石墨夾板或石墨楔塊加以固定。關于用石墨板制成的加熱器的聯接方法更加簡單，可將石墨板經過鉬螺桿與水冷電極直接聯接起來。
