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在運用真空爐進行作業的時候，最主要的就是為了加熱，在加熱過程中需求要求加熱速率快，選用的加熱資料一定要確保熱導率好，并且在高溫下不能發生變形和大量的熱損失，要確保在運用過程中在一段時間內性能要安穩。
在選取加熱元件時也要依據自己所需處理產品的化學性能，避免加熱元件的原料影響到工件的質量。因此，真空爐要合理的選取加熱元件。
常用的加熱元件有石墨和不銹鋼。
石墨加熱元件：石墨具有耐高溫、熱膨脹小，抗熱沖擊能力強等特性，其機械強度在2500℃以下碎溫度的上升而提高，1700℃左右最佳，超越一切的氧化物和金屬。石墨資料熔點高，蒸氣壓低，真空爐的氣氛中含有低濃度的碳，將與殘余氣體中的氧氣和水蒸氣反應發生凈化效果，大大簡化了真空系統，降低了本錢。在真空爐的制作過程中，一般用于熱處理時選用的加熱元件是石墨，包括其爐床支座、保溫屏、銜接板、銜接螺母、通氣管等。
不銹鋼加熱元件：體積小，功率大，熱呼應快，控溫精度高，綜合熱效率高，運用范圍寬，適應性強，加熱溫度高，壽命長，可靠性高。機械化程度高，可以依照客戶的要求彎成各種形狀、輕便、拆裝便利。結構簡略、用料少、本錢廉價，而且運用壽命長、熱轉換率高，同時節能省電。
