真空爐主要是用來處理金屬資料的，許多金屬資料都是經過高溫來加工或作其他生產。
從理論上講，金屬資料都可以在真空爐中熱處理。但因技能要求、加工本錢、工藝完成的難易程度等原因，下列資料（工件）不宜在真空爐中熱處理。
1.高溫對N元素靈敏，易構成有害效果的資料。真空爐為避免合金元素高溫時揮發，通常在高溫下充高純氮氣堅持分壓，冷卻時一般選用充氮冷卻。故該類資料不宜用真空爐處理。
2.碳素鋼。從本錢視點考慮，碳鋼價格較低，制品件價格較低，用真空爐處理實屬糟蹋，除非高贏利工件或許工件已經沒有加工余量，對表面質量要求苛刻時的權宜之計。
3.某些使用特殊工藝的資料（工件）。比如為獲取最佳機械性能，有些工件要求取得貝氏體，一般用等溫淬火來完成，真空熱處理爐很難完成；再如T10鋼，要求高硬度、低變形，一般用水淬油冷工藝完成，真空爐雖然可以用高壓氣淬取得高硬度，但因在Ms點以下溫度冷速較快，變形較大。
