在真空熱處理設備這個類別當中，真空淬火爐是運用較為廣泛和具有代表性的典型設備，它具有以下一些特征：
1.嚴厲的真空密封眾所周知，真空熱處理時工件進行加熱及淬火都在密閉的真空爐內進行，因而保證真空淬火爐的作業真空度，對確保零件真空熱處理的質量有著非常重要的意義。為了保證真空爐的真空性能，爐體有必要選用氣密焊接，上面開孔很少，以盡量削減真空走漏的時機。安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出裝置也都是密封結構。
2.大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態下運用真空淬火爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下作業的，這些材料具有耐高溫，蒸汽壓低，輻射作用好，導熱系數小等特色。如國內現有真空淬火爐首要選用石墨作加熱與隔熱構料，它在大氣狀態下被加熱極易氧化，因而，常規熱處理爐不能選用這些加熱與隔熱材料。
3.真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件（水冷電極）、中心真空隔搶手等部件，均在真空、受熱狀態下作業。在這種極為晦氣的條件下作業，有必要保證各部件的結構不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因而，各部件依據不同的情況設置有水冷裝置，以保證真空爐能夠正常運轉并有滿足的運用壽命。
4.對工件加熱選用低電壓大電流，在真空熱處理爐內，當真空度到幾百帕(Pa)時，通電導體在較高的電壓下，就會產生輝光放電現象，嚴峻的會產生弧光放電，燒毀電熱元件、隔熱層等，形成重大事故和損失。因而，真空熱處理爐的電熱元件的作業電壓，一般都不超越80-100伏。一起電熱元件盡量避免有尖端的部件，電極間的間距不能太窄等，以避免輝光放電或者弧光放電的產生。
5.自動化程度高由于金屬工件的加熱、冷卻等操作，需求十幾個甚至幾十個動作來完結。這些動作都在真空熱處理爐內進行，操作人員無法接近。一起，有些動作如加熱保溫完畢后，金屬工件進行淬火工序須多個動作而且要在較短時間內完結。在這樣敏捷的條件來完結許多動作，是很容易形成操作人員的緊張而構成誤操作。因而，大部分真空淬火爐選用了較高的自動化程序來進行操控。
