在運用真空爐進行作業的時分，最主要的便是為了加熱，在加熱過程中需要要求加熱速率快，選用的加熱材料一定要保證熱導率好，并且在高溫下不能產生變形和許多的熱丟掉，要保證在運用過程中在一段時間內功用要安穩。
在選取加熱元件時也要依據自己所需處理產品的化學功用，避免加熱元件的原料影響到工件的質量。因而，真空爐要合理的選取加熱元件。
常用的加熱元件有石墨和不銹鋼。
石墨加熱元件：石墨具有耐高溫、熱膨脹小，抗熱沖擊能力強等特性，其機械強度在2500℃以下碎溫度的上升而進步，1700℃左右最佳，超越一切的氧化物和金屬。石墨材料熔點高，蒸氣壓低，真空爐的氣氛中含有低濃度的碳，將與剩余氣體中的氧氣和水蒸氣反應產生凈化效果，大大簡化了真空體系，降低了本錢。在真空爐的制造過程中，一般用于熱處理時選用的加熱元件是石墨，包括其爐床支座、保溫屏、聯接板、聯接螺母、通氣管等。
不銹鋼加熱元件：體積小，功率大，熱照應快，控溫精度高，歸納熱效率高，運用規模寬，適應性強，加熱溫度高，壽命長，可靠性高。機械化程度高，可以依照客戶的要求彎成各種形狀、簡便、拆裝便當。結構簡略、用料少、本錢廉價，并且運用壽命長、熱轉換率高，一起節能省電。