真空爐是指在挨近真空狀態下通過電熱元件加熱的工業爐。真空爐冷卻體系是真空爐的重要部分。冷卻水路應保持暢透，不然水溫升高造成停機。這是真空爐工作時常被忽視的問題 當無人管理時可能會導致真空爐的嚴重毀壞。
真空爐鉬加熱體長時刻使用以后會呈現變硬、收縮、下墜、先倒伏搭接、后熔斷(融)等現象。為使真空爐加熱絲在高溫下存在必要的強度，防行硬化、倒塌或下垂，首先要規劃真空爐加熱絲的結構尺度，如螺旋形電阻絲，要注意加熱元件彎徑、螺距和螺旋中徑等。加熱體快要松靠真空爐保溫襯，在保溫襯擱上95陶瓷件，恰當留有其膨脹空間。放置位置要合適，一般在100～200mm一個，并能堅固鉤住避免電阻絲趴上。此外應避免爐絲相互之間直接觸摸（短路），一般要墊隔離片。
用生物分化化學輔助辦法處理冷卻水，意圖是保持礦物質呈懸浮態，減少橡皮管、蛇形管和水套內沉淀物累積， 以使水流暢通。這一般采用一種主動裝置來完成，它能夠監測水的導電性，主動彌補化學劑，沖冼水路，增加新鮮水。與隸屬蒸氣過濾體系合作，這種辦法還能夠保證水的pH 值控制， 避免在冷卻水體系中剩余礦物質堆積。在體系工作安穩后，至少應每月一次進行水質實驗以防過處理或欠過理。
真空回火爐外殼和熱交換器材料的實驗樣品也應放在水路體系中，每年做一次重量丟失檢驗以查看處理的效果。對分散泵的蛇形管冷卻器必須特別注意。應該常常檢 查。如果阻塞了，分散泵將會過熱并損失功能，并且還進一步引起分散泵加熱器燒毀，造成貴重的、費時的修理。當蛇形冷卻水管阻塞時，將水路同水源斷開，排水并用壓縮空氣吹通或用稀醋酸溶液沖洗。